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请问MEMS做得好的高校有哪些

东南大学微电子机械系统教育部重点实验室

南京理工大学MEMS惯性技术研究中心 军工的

华中科技大学微系统研究中心

西北工业大学微纳米系统实验室

厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心

北京大学微电子研究院微机电系统研究所

清华大学微电子学研究所微纳器件与系统研究室

上海交通大学微纳科学技术研究院

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